Halbleiter

HALBLEITER

Präzise Lösungen für das Orbitalrohrschweißen in der Halbleiterindustrie

In Halbleiterwerken, die auch gemeinhin als „Fabs“ oder „Foundries“ bezeichnet werden, werden zahlreiche Schweißnähte an hochreinen Prozessrohrleitungen ausgeführt, die verschiedene Edelgase durch automatisierte Gasversorgungssysteme transportieren, um Chips auf einem Siliziumsubstrat (auch als „Wafer“ bekannt) herzustellen. Dies geschieht mithilfe von Lithografieanlagen, die diese Gase nutzen, um die Halbleiterchips mittels chemischer Gasphasenabscheidung (CVD) zu ätzen. Präzision und Sauberkeit sind dabei unerlässlich. Leckagen oder Rückhaltezonen sind inakzeptabel. Die Orbital-Lösungen von AXXAIR gewährleisten, dass Rohre wiederholgenau und perfekt verschweißt werden, wodurch potenzielle Schwachstellen beseitigt und einwandfreie Verbindungen sichergestellt werden.

Große Rohrleitungssysteme mit hoher Reinheit, die in diesen großen Fabriken installiert werden, erfordern von den Rohrleitungsbauern eine große Anzahl präziser und wiederholbarer Schweißnähte mittels Orbital-Rohrschweißverfahren (unter Verwendung des GTAW-Verfahrens). Dabei kommen geschlossene Orbital-Schweißköpfe und Stromversorgungen zum Einsatz, die eine Dokumentation der Schweißparameter ermöglichen, um die vom Halbleiterhersteller geforderten strengen Qualitätskontrollverfahren einzuhalten. Dazu gehören die Qualifizierung des Schweißers, regelmäßige Schweißproben zur Gewährleistung einer gleichbleibenden Qualität sowie die Verwendung von vom Halbleiterhersteller zugelassenen Geräten.
Heute ist AXXAIR in mehreren Halbleiterfertigungsanlagen wie Intel, Samsung und TSMC zugelassen und wird dort erfolgreich eingesetzt und ist weiterhin eine bevorzugte Marke der Wahl bei Rohrleitungsbauunternehmen weltweit.

SEHR GEEHRTE KUNDEN

Wir sind stolz darauf, unsere Kunden an erste Stelle zu setzen und ihnen in jeder Phase innovative Lösungen sowie einen unvergleichlichen Support zu bieten.

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